半導(dǎo)體工業(yè)的變遷

近50年來半導(dǎo)體工業(yè)的進(jìn)展,簡直如神話一般,改變了人類的生活,極大地推動(dòng)社會(huì)的進(jìn)步.著名的摩爾定律一直引領(lǐng)著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展歷程.

作 者： 莫大康   作者單位： 應(yīng)用材料中國公司  刊 名： 電子工業(yè)專用設(shè)備  英文刊名： EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING  年，卷(期)： 2003 32(4)  分類號(hào)： F4  關(guān)鍵詞：  

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